イオン注入低誘電率有機SOG膜を用いた層間絶縁膜形成技術
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概要
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- 2002-06-06
著者
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山下 幸司
三洋電機(株)
-
藤田 和範
三洋電機(株)
-
松原 直輝
三洋電機(株)
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水原 秀樹
三洋電機(株)
-
植田 慶一
三洋電機(株)
-
井上 恭典
三洋電機(株)
-
茨木 晃
三洋電機(株)
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水原 秀樹
三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所
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井上 恭典
三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所
-
松原 直輝
三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所
-
植田 慶一
三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所
-
茨木 晃
三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所
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