イオン注入有機SOG膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成技術 (半導体技術特集)
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概要
著者
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渡辺 裕之
三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所
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松原 直輝
三洋電機(株)
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水原 秀樹
三洋電機(株)
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水原 秀樹
三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所
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松原 直輝
三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所
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