渡辺 裕之 | 三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所

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• 渡辺 裕之

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• 水原 秀樹

  三洋電機(株)

• 水原 秀樹

  三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所

• 実沢 佳居

  三洋電機株式会社 研究開発本部 アドバンストデバイス研究所

• 松原 直輝

  三洋電機(株)

• 井上 恭典

  三洋電機(株)

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• 松原 直輝

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• 水原 秀樹

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• 花房 寛

  三洋電機株式会社

• 吉年 慶一

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• 岡山 芳央

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• 青江 弘行

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• 植田 慶一

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• 茨木 晃

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• 辻村 和俊

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• 平獺 征基

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著作論文

• ダイレクトオンメタル構造のイオン注入有機SOG層間絶縁膜形成技術
• イオン注入有機SOG膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成技術
• イオン注入SOG膜のCMPプロセスへの適用
• イオン注入法を用いた有機SOG膜の改質
• イオン注入有機SOG膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成技術 (半導体技術特集)

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