吉年 慶一 | 三洋電機株式会社
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概要
関連著者
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吉年 慶一
三洋電機株式会社
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吉年 慶一
三洋電機(株) マイクロエレクトロニクス研究所
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三洋電機株式会社
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三洋電機株式会社 研究開発本部 アドバンストデバイス研究所
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阿久津 亮夫
宇宙開発事業団
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松田 純夫
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松原 直輝
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水口 公秀
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岸本 吉正
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植田 慶一
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辻村 和俊
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著作論文
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- ランデブレーダ用高出力半導体レーザの開発
- イオン注入有機SOG膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成技術
- イオン注入SOG膜のCMPプロセスへの適用
- 高温フィールド酸化によるRecessed LOCOSの特性改善