水原 秀樹 | 三洋電機(株)

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• 水原 秀樹

  三洋電機(株)

• 水原 秀樹

  三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所

• 渡辺 裕之

  三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所

• 井上 恭典

  三洋電機(株)

• 井上 恭典

  三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所

• 松原 直輝

  三洋電機(株)

• 松原 直輝

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• 実沢 佳居

  三洋電機株式会社 研究開発本部 アドバンストデバイス研究所

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• 水原 秀樹

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• 実沢 佳居

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• 花房 寛

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• 植田 慶一

  三洋電機(株)

• 茨木 晃

  三洋電機(株)

• 吉年 慶一

  三洋電機株式会社

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• 茨木 晃

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• 岡山 芳央

  三洋電機株式会社マイクロエレクトロニクス研究所

• 谷本 伸一

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• 花房 寛

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• 吉年 慶一

  三洋電機(株) マイクロエレクトロニクス研究所

• 青江 弘行

  三洋電機

• 山下 幸司

  三洋電機(株)

• 山田 勝雄

  三洋電機(株)セミコンダクターカンパニー Mos-lsi事業部

• 藤田 和範

  三洋電機(株)

• 平瀬 征基

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• 今井 憲次

  三洋電機

• 今井 憲次

  三洋電機(株)超LSI技術開発ブロジェクト

• 西村 英孝

  三洋電機(株)セミコンダクターカンパニー MOS-LSI事業部

• 竹川 一之

  三洋電機(株)セミコンダクターカンパニー MOS-LSI事業部

• 坂東 淳史

  三洋電機(株)セミコンダクターカンパニー MOS-LSI事業部

• 辻村 和俊

  三洋電機株式会社マイクロエレクトロニクス研究所

• 平獺 征基

  三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所

• 平瀬 征基

  三洋電機

• 今井 憲次

  三洋電機(株)セミコンダクターカンパニー Mos-lsi事業部

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著作論文

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• 注入改質SOGを用いた高温スパッタAl-Plugプロセス
• ダイレクトオンメタル構造のイオン注入有機SOG層間絶縁膜形成技術
• イオン注入有機SOG膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成技術
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• イオン注入有機SOG膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成技術 (半導体技術特集)

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