水原 秀樹 | 三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所

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• 渡辺 裕之

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• 井上 恭典

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• 辻村 和俊

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• 平獺 征基

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著作論文

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• 注入改質SOGを用いた高温スパッタAl-Plugプロセス
• ダイレクトオンメタル構造のイオン注入有機SOG層間絶縁膜形成技術
• イオン注入有機SOG膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成技術
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• イオン注入法を用いた有機SOG膜の改質
• イオン注入有機SOG膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成技術 (半導体技術特集)

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