岡山 芳央 | 三洋電機株式会社マイクロエレクトロニクス研究所

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概要

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関連著者

• 岡山 芳央

  三洋電機株式会社マイクロエレクトロニクス研究所

• 花房 寛

  三洋電機株式会社

• 渡辺 裕之

  三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所

• 水原 秀樹

  三洋電機(株)

• 井上 恭典

  三洋電機(株)

• 井上 恭典

  三洋電機株式会社マイクロエレクトロニクス研究所

• 水原 秀樹

  三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所

• 吉年 慶一

  三洋電機株式会社

• 井上 恭典

  三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所

• 水原 秀樹

  三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所

• 谷本 伸一

  三洋電機株式会社マイクロエレクトロニクス研究所

• 花房 寛

  三洋電機株式会社マイクロエレクトロニクス研究所

• 吉年 慶一

  三洋電機(株) マイクロエレクトロニクス研究所

• 実沢 佳居

  三洋電機株式会社 研究開発本部 アドバンストデバイス研究所

• 松原 直輝

  三洋電機(株)

• 松原 直輝

  三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所

• 辻村 和俊

  三洋電機株式会社マイクロエレクトロニクス研究所

• 実沢 佳居

  三洋電機株式会社 マイクロエレクトロニクス研究所

• 岡山 芳央

  三洋電機株式会社技術開発本部

• 梅本 光雄

  関東三洋セミコンダクターズ株式会社

• 亀山 工次郎

  三洋電機株式会社セミコンダクターカンパニー

• 鈴木 彰

  三洋電機株式会社セミコンダクターカンパニー

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著作論文

• イオン注入有機SOG膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成技術
• イオン注入SOG膜のCMPプロセスへの適用
• シリコン貫通電極技術を用いた小型画像センサのプロセス開発

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