リニアモータ駆動直列ツインスライダの位置決め制御
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概要
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Motion controls in modern servo systems are required to be of high speed and high precision, therefore linear motors are widely introduced into the linear slider system.Direct drive by the linear motor causes the stage to vibrate due to the reaction force arisen from the motion of the stator and the stand.This paper is concerned with the design of a control system for motion control of serial twin sliders driven by linear motors. The control system, consisting of a feedforward controller and a feedback controller, is two degree of freedom control. The feedforward controller is designed to decouple the coupled dynamics of two sliders using an inverse transfer function of the system. On the other hand, the feedback controller has a conventional PID algorithm. Experimental results have shown the high control performance of the control system and the effectiveness of the proposed method.
- 2004-09-01
著者
-
大川 不二夫
九州工業大学情報工学部
-
本田 英己
(株)安川電機
-
本田 英己
(株)安川電機開発研究所
-
小黒 龍一
九州工業大学
-
萩原 淳
(株)安川電機 開発研究所 メカトロ技術開発部
-
大川 不二夫
九州工業大学大学院
-
大川 不二夫
九州工業大学情報工学研究院
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