添加剤の予備吸着を利用する銅電析プロセスによるULSI微細配線の形成
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概要
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- 2002-01-01
著者
-
縄舟 秀美
甲南大学理学部
-
水本 省三
甲南大学理学部
-
赤松 謙祐
甲南大学理工学部無機工業化学研究室
-
縄船 秀美
甲南大
-
縄舟 秀美
甲南大学理工学部
-
水本 省三
甲南大学理工学部 甲南大学ハイテク・リサーチ・センター
-
内田 衛
石原薬品(株)
-
内田 衛
石原薬品
-
粟野 まいこ
甲南大学 大学院自然科学研究科
-
細田 勉
富士通(株)
-
細田 勉
富士通
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