FTIR ATR法による無電解パラジウム-リン合金めっき浴中の浴成分のモニタリング
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概要
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Monitoring of electroless palladium plating baths using hypophosphite as a reducing agent and ethylenediamine (en) as a complexing agent was investigated by FTIR ATR spectrometry.Linear relationships were obtained between the absorbance of the characteristic absorption bands and the concentrations of Pden22+ complex, en, hypophosphite and phosphite. In continuously used baths with large accumulations of phosphite, the ATR spectra of phosphite, Pden22+ complex and hypophosphite overlapped, but even in these cases compositions could be determined by curve fitting.
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