減圧環境下における基板に衝突するノズル噴流の数値計算
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概要
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- 2002-01-20
著者
-
田原 弘一
大阪大学大学院基礎工学研究科機能創成専攻
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
安藤 康高
足利工業大学
-
吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
白崎 篤司
大阪大学大学院基礎工学研究科機能創成専攻
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院
-
田原 弘一
大阪大学大学院
-
白崎 篤司
大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系専攻機械科学分野
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