電磁加速プラズマ成膜法の研究
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-10-13
著者
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
田原 弘一
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
柴田 哲司
大阪大学
-
柴田 哲司
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
中貝 悟朗
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院
-
田原 弘一
大阪大学基礎工学部
関連論文
- 3.電気推進の応用(次世代の宇宙電気推進技術)
- 磁界中テザーの電流捕集におけるプラズマ流速の影響
- (74) 基礎工学研究科における教育・研究の点検・評価に関する取り組み(第19セッション 教育評価・自己点検・評価システム(1))
- 高エネルギーイオン照射による宇宙用高分子及びガラス材料の化学構造変化
- 圧延機チャタリングの振動解析と対策 : 5質点系タンデムモデルによる対策シミュレーションと実機検証(機械力学,計測,自動制御)
- 圧延機チャタリングの振動解析 : 張力を考慮した2自由度タンデムモデルによる振動解析(機械力学,計測,自動制御)
- 圧延機チャタリングの振動解析 : 摩擦を考慮した2自由度系モデルによる解析(機械力学,計測,自動制御)
- 宇宙用電気推進機のプラズマ流
- スパッタリングとレーザアブレーションで成膜された窒化炭素膜の膜構造
- 窒化炭素成膜における電子サイクロトロン共鳴プラズマスパッタリングの質量分析
- アンモニア及び窒素・水素混合ガスを用いた超音速プラズマジェットによる窒化処理基板近傍のプラズマ状態と基材への熱流束特性
- 減圧環境下におけるアンモニア及び窒素/水素混合ガスプラズマジェット装置の排出流の状態
- 窒素を作動気体とした超音速プラズマジェットによるチタン材の窒化処理
- 低圧環境下における窒素プラズマジェットを用いたチタン材の高速プラズマ窒化
- 168 超音速窒素-水素プラズマジェットを用いたプラズマ窒化の研究
- 超音速窒素プラズマジェットを用いたTi基材のプラズマ窒化
- 236 低圧下における超音速窒素プラズマジェットを用いたチタンの表面窒化
- 成膜用電磁加速プラズマの特性
- 窒化チタン反応性成膜用電磁加速プラズマアークジェット装置の開発
- 窒化チタン反応性成膜用電磁加速プラズマ装置の開発とそのプラズマ分光分析
- 窒化チタン成膜用電磁加速プラズマ装置の開発
- 電磁加速プラズマによる窒化チタン反応性成膜とその分光分析
- 電磁加速プラズマによる窒化チタン成膜とそのプラズマ分光測定
- 電磁加速プラズマ成膜法の研究
- 259 電磁加速プラズマを用いた窒化チタン成膜
- 電磁加速プラズマ発生装置の窒化チタン反応性成膜への応用
- 129 電磁加速プラズマのセラミックス溶射への応用
- 電磁加速プラズマ溶射法の開発とそのセラミックスコーティングへ応用
- 低圧環境下における超音速窒素及び窒素/水素混合プラズマジェットの流れ場の状態
- 153 電磁加速プラズマを用いたセラミック溶射
- 電磁加速プラズマ溶射法の研究
- 酸素及び窒素イオン衝突による宇宙用ポリマーフィルムの表面化学構造と分光透過率の変化
- 電子サイクロトロン共鳴放電型プラズマ加速機を用いた宇宙プラズマ環境シミュレータの開発研究
- 電子サイクロトロン共鳴放電を用いた宇宙プラズマ環境シミュレーション実験装置の試作研究
- X線光電子分光法によるイオンビームを照射されたポリイミドフィルムの化学構造分析
- 高エネルギーイオン照射による耐熱性高分子材料の化学構造変化
- 第37回中部・関西支部合同秋期大会 特別企画 パネルディスカッション 「21世紀の航空宇宙産業における産官学連携についてのブレークスル-」
- 6. 特殊流体 : 6・4 プラズマ流体・反応性流体 (機械工学年鑑(1994年)流体工学)
- 6. 特殊流体 : 6・3 電磁流体 (機械工学年鑑(1994年)流体工学)
- 7・9 電磁流体・希薄流体など : 7.流体工学
- CH_4/H_2を用いたマイクロ波プラズマ気相化学合成におけるプラズマの特性
- 擬似移行性アークを用いた基材の表面アブレーション(機械工学科)
- 準定常MPD推進機の噴出プラズマ流の状態
- 準定常MPD推進機における排出プラズマ速度の放電室形状への依存性
- 準定常MPD推進機におけるカソードジェットの構造
- 準定常MPDチャンネル内のプラズマの加速過程
- 大気TPCVDによる光触媒酸化チタン薄膜の高速合成
- 金属基材上へのプラズマジェット照射による柱状組織金属酸化物皮膜の形成(機械工学科)
- Mo大気溶射を施したステンレス基材上への燃焼炎法によるダイヤモンド合成
- 燃焼炎法によるダイヤモンド合成における基板移送の効果
- DCアークジェットを用いた熱プラズマによる大気雰囲気下での酸化チタン皮膜の高速合成
- 電磁加速プラズマ溶射による窒化珪素皮膜の形成
- 723 大面積成膜用インラインプロセス型 ECR プラズマスパッタ源の開発
- 低電力ホールスラスタの基本作動特性と推進性能
- プラズマ材料プロセスにおける表面化学反応 : プラズマ/固相反応
- 燃焼火炎CVDを用いたダイヤモンド合成における燃焼炎冷却による基材への入熱の低減
- 宇宙用プラズマ推進機の研究開発
- ホローカソードを用いたプラズマコンタクタに関する基礎実験
- 減圧環境下における基板に衝突するノズル噴流の数値計算
- 熱プラズマジェットアシスト窒化法によるアルミニウムの窒化処理
- シート状電子サイクロトロン共鳴放電プラズマの生成とそれを用いた反応性スパッタリング成膜
- 平板リングカスプ磁場を用いた大面積電子サイクロトロン共鳴プラズマ源
- 電磁プラズマ加速アークジェットのセラミックコーティングへの応用
- 332 電磁プラズマ加速アークジェットを用いたセラミックの成膜に関する研究
- 基板に衝突する希薄流の数値計算
- 基板に衝突する希薄流のモンテカルロシミュレーション
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- 永久磁石による電子サイクロトロン共鳴放電を用いたCH_4/H_2プラズマの成膜への応用
- アクチノメータ法及びレーザー誘起蛍光法によるマイクロ波放電CH_/H_2プラズマの診断
- 523 超音速プラズマジェット照射に伴う鉄鋼材料の微視的組織の変化と表面効果との関係
- ホール型プラズマ加速器の流れ場の一次元解析
- 258 超音速プラズマジェットによるアルミ材の迅速窒化
- 電子サイクロトロン共鳴プラズマスパッタによるITO薄膜の大面積成膜法の研究
- イオンビーム支援真空蒸着法による硬質CN_x薄膜の合成
- 電子サイクロトロン共鳴加熱を用いたリニアプラズマ源による酸化物薄膜のスパッタリング成膜
- 永久磁石とスロットアンテナを用いたECRプラズマスパッタリング源
- 260 超音速プラズマジェットの鉄鋼材料の窒化への応用
- 超音速プラズマジェット照射によるSACM645鋼の表面硬化処理
- ECRプラズマを用いたリニアスパッタリング源
- 電子サイクロトロン共鳴加熱プラズマを用いたリニアスパッタリング装置の作動特性
- 宇宙推進用ホール型プラズマ加速器の性能特性とイオンビーム計測
- 宇宙用レーザーアブレーション推進機の性能特性
- 電磁加速プラズマ溶射による窒化珪素皮膜の形成
- 電磁プラズマ加速装置による窒化珪素皮膜の形成
- 超音速プラズマジェットによる窒化処理基板近傍のプラズマ状態と基材への熱流束特性
- プラズマ・イオンロケットの開発および宇宙飛翔体とプラズマの干渉現象
- 超音速プラズマジェット照射による鉄鋼材料の表面硬化処理及びその低温化に関する検討
- 低圧下のプラズマジェット内における粒子の加熱・加速過程の数値計算
- 低圧プラズマジェットにおける粒子の加熱・加速過程の数値計算
- DCアークプラズマジェットの超音速膨脹による温度非平衡プラズマの形成およびそのプラズマの窒化処理への応用
- 宇宙推進用準定常電磁プラズマジェットの作動特性と放電機構
- 基板バイアスを用いた反応性スパッタリング法による窒化炭素成膜