永久磁石による電子サイクロトロン共鳴放電を用いたCH_4/H_2プラズマの成膜への応用
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概要
著者
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田原 弘一
大阪大学基礎工学部機械工学科
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安井 利明
大阪大学基礎工学部機械工学科
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吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部機械工学科
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吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部
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村井 晶
大阪大学基礎工学部
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大家 泉
大阪大学基礎工学部
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田原 弘一
大阪大学基礎工学部
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