シート状電子サイクロトロン共鳴放電プラズマの生成とそれを用いた反応性スパッタリング成膜
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概要
著者
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田原 弘一
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
安井 利明
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部機械工学科
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吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部
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中瀬 清隆
大阪大学基礎工学部
-
西土井 健
大阪大学基礎工学部
-
田原 弘一
大阪大学基礎工学部
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