イオンビーム支援真空蒸着法による硬質CN_x薄膜の合成
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概要
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- 2001-01-20
著者
-
田原 弘一
大阪大学大学院基礎工学研究科機能創成専攻
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
安井 利明
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
内薗 豊仁
大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院
-
田原 弘一
大阪大学大学院
-
内薗 豊仁
大阪大学大学院基礎工学研究科
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