723 大面積成膜用インラインプロセス型 ECR プラズマスパッタ源の開発
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-08-24
著者
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
福本 昌宏
豊橋技科大
-
吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
安井 利明
豊橋技科大
-
小阪 尋昭
大阪大基礎工
-
田原 弘一
大阪大基礎工
-
吉川 孝雄
大阪大基礎工
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