超音速プラズマジェットによる窒化処理基板近傍のプラズマ状態と基材への熱流束特性
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概要
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- 2003-01-20
著者
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
尾上 憲一
大阪大学
-
尾上 憲一
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院
-
田原 弘一
大阪大学大学院
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