窒化炭素成膜における電子サイクロトロン共鳴プラズマスパッタリングの質量分析
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概要
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- 2001-03-20
著者
-
田原 弘一
大阪大学大学院基礎工学研究科機能創成専攻
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
安井 利明
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
内薗 豊仁
大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系
-
吉川 孝雄
大阪大学大学院
-
田原 弘一
大阪大学大学院
-
内薗 豊仁
大阪大学大学院基礎工学研究科
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