CH_4/H_2を用いたマイクロ波プラズマ気相化学合成におけるプラズマの特性
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概要
著者
-
南 健一郎
大阪大学基礎工学部
-
田原 弘一
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
安井 利明
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部機械工学科
-
吉川 孝雄
大阪大学基礎工学部
-
村井 晶
大阪大学基礎工学部
-
田原 弘一
大阪大学基礎工学部
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