Surface Images of SiO_2/Si(100) Pattern using Electron Emission Microscopy with Metastable Atoms, Photons and Low-Energy Electrons

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概要

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• Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
• 2001-04-01

著者

• 上野 信雄

  千葉大融合科学

• HARADA Yoshiya

  Life Culture Department, Seitoku University

• Okudaira Koji

  Faculty Of Engineering Chiba University

• Ueno Nobuo

  Department Of Materials Science Faculty Of Engineering Chiba University

• Ueno Nobuo

  Graduated School Of Science And Technology Chiba University

• Ueno Nobuo

  Graduate School Of Science And Technology Chiba University

• Harada Y

  Univ. Tokyo Tokyo Jpn

• Harada Yoshinao

  Ulsi Process Technology Development Center Matsushita Electronics Corporation

• Harada Yoshinao

  Ulsi Process Technology Development Center Matsushita Electronics Corp.

• OKUDAIRA Koji

  Institute for Molecular Science

• YASUFUKU Hideyuki

  Graduated School of Science and Technology, Chiba University

• OKUMURA Masao

  Graduated School of Science and Technology, Chiba University

• IBE Takahiro

  Graduated School of Science and Technology, Chiba University

• OKUDAIRA Koji

  Graduated School of Science and Technology, Chiba University

• Harada Y

  Life Culture Department Seitoku University

• Ibe Takahiro

  Department Of Materials Technology Faculty Of Engineering Chiba University

• Okumura Masao

  Graduated School Of Science And Technology Chiba University

• Harada Yoshiya

  Life Culture Department Seitoku University

• Okudaira Koji

  Graduated School Of Science And Technology Chiba University

• Yasufuku H

  Hokkaido Univ. Sapporo

• Ibe Takahiro

  Graduated School Of Science And Technology Chiba University

• Ueno Nobuo

  Graduate School of Advanced Integration Science, Chiba University, Chiba 263-8522, Japan

• Okudaira Koji

  Graduate School of Advanced Integration Science, Chiba University, Chiba 263-8522, Japan

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