柴田 典義 | (財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所
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概要
関連著者
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柴田 典義
(財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所
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柴田 典義
Japan Fine Ceramics Center
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(財)ファインセラミックスセンター
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(財)ファインセラミックスセンター
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菅原 義弘
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著作論文
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- SiC上カーボンナノチューブ配向膜の創製-SiC(0001),(0001)面の表面分解過程-
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- 微細構造の体系的・動的その場評価を可能とする新しい評価システム
- Si単結晶/SiO_2多層薄膜の合成
- マイクロ波プラズマCVD法による金属への炭化ケイ素薄膜の低温コーティング
- マイクロ波プラズマCVD法による炭化ケイ素薄膜の低温合成