青山 智 | (財)ファインセラミックスセンター:(現)トヨタ自動車(株)東富士研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• (財)ファインセラミックスセンター:(現)トヨタ自動車(株)東富士研究所の論文著者

関連著者

• 柴田 典義

  (財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所

• 青山 智

  (財)ファインセラミックスセンター:(現)トヨタ自動車(株)東富士研究所

• 柴田 典義

  Japan Fine Ceramics Center

著作論文

• マイクロ波プラズマCVD法による金属への炭化ケイ素薄膜の低温コーティング
• マイクロ波プラズマCVD法による炭化ケイ素薄膜の低温合成

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