Si単結晶/SiO_2多層薄膜の合成
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概要
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- 社団法人 表面技術協会の論文
- 1995-08-01
著者
-
柴田 典義
(財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所
-
石川 由加里
(財)ファインセラミックスセンター
-
石川 由加里
Japan Fine Ceramics Center
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柴田 典義
Japan Fine Ceramics Center
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