交互供給CVI法を用いたγ-アルミナ細孔へのSiC修飾
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概要
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SiC membranes were prepared by chemical vapor infiltration(CVI) onto γ-Al_2O_3-coated porous α-Al_2O_3 tubes. Source gases of SiH_2Cl_2 and C_2H_2 diluted with hydrogen were alternatively supplied to the porous tube during heating at 800-900℃, and evacuated after the cycles through the porous tube. According to this process, SiC could be infiltrated into porous alumina. The SiC infiltration was successfully controlled by repeated cycles of the alternating gas supply. The volume of gas, permeated into the porous tube, decreased with increasing number of infiltration cycles. The SiC membrane showed hydrogen parmeances of 1×10^<-8> mol・m^<-2>・s^<-1>・Pa^<-1> with selectivity of 3.36 over nitrogen at 350℃.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2001-04-01
著者
-
柴田 典義
(財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所
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久保 幸雄
(財)ファインセラミックスセンター
-
武田 保敏
(財)ファインセラミックスセンター
-
武田 保敏
(財)ファインセラミックスセンター:(現)三菱電機(株)名古屋製作所
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柴田 典義
Japan Fine Ceramics Center
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