石川 由加里 | (財)ファインセラミックスセンター
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概要
関連著者
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石川 由加里
(財)ファインセラミックスセンター
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石川 由加里
Japan Fine Ceramics Center
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(財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所
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Japan Fine Ceramics Center
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(財)ファインセラミックスセンター
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中部電力(株)電力利用技術研究所
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幾原 雄一
東京大学工学系:東北大学WPI-AIMR:ファインセラミックスセンター
著作論文
- SIMOX法で作製したSi微粒子界面の高分解能観察とモデル化
- 反応性スパッタリング法で作製したAlN薄膜の結晶性 : 残留水蒸気の影響
- ゼオライトYのNO吸着特性に及ぼす鉄修飾効果
- Si単結晶/SiO_2多層薄膜の合成