野村 研二 | (財)ファインセラミックスセンター

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概要

• 同名の論文著者
• (財)ファインセラミックスセンターの論文著者

関連著者

• 柴田 典義

  (財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所

• 野村 研二

  名古屋工業大学工学部応用化学科

• 野村 研二

  (財)ファインセラミックスセンター

• 柴田 典義

  Japan Fine Ceramics Center

• 石川 由加里

  (財)ファインセラミックスセンター

• 川合 智司

  古河電気工業(株)

• 石川 由加里

  Japan Fine Ceramics Center

著作論文

• XPS-SIMSによるAu/Si_3N_4界面反応の分析
• 反応性スパッタリング法で作製したAlN薄膜の結晶性 : 残留水蒸気の影響

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