篠原 真 | 島津製作所

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概要

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• 島津製作所の論文著者

関連著者

• 篠原 真

  島津製作所 表面・半導体機器部

• 篠原 真

  島津製作所

• 更家 淳司

  京都工芸繊維大学工芸学部

• 石山 修

  島津製作所基盤技術研究所

• 更家 淳司

  京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科

• 大谷 文彦

  島津製作所基盤技術研究所

• 西原 隆治

  島津製作所 表面・半導体機器部

• 篠原 真

  (株)島津製作所 けいはんな研

• 更家 淳司

  京都工芸繊維大学 工芸学部 電子情報工学科

• 大谷 文彦

  (株)島津製作所 基盤技術研究所

• 林 茂樹

  島津製作所基盤技術研究所

• 西野 茂

  京都工芸繊維大学工芸学部

• 西野 茂弘

  京都工芸繊維大学・工芸

• 浅利 正敏

  (株)島津製作所中央研究所

• 西野 茂弘

  京都工芸繊維大学大学院電子情報工学専攻

• 石山 修

  (株)島津製作所 けいはんな研

• 浅利 正敏

  構造解析研

• 石田 洋一

  東京工業大学 応用セラミックス研究所

• 鯉沼 秀臣

  東京工業大学工業材料研究所

• 鯉沼 秀臣

  東工大工材研

• 鯉沼 秀臣

  東京大学工学部工業化学科

• 石田 洋一

  東京大学工学部

• 向田 昌志

  Nttシステムエレクトロニクス研究所:(現)山形大

• 吉本 護

  東京工業大学応用セラミックス研究所

• 石井 隆生

  NTTシステムエレクトロニクス研究所

• 宮澤 信太郎

  NTTシステムエレクトロニクス研究所

• 林 茂樹

  構造解析研

• 鯉沼 秀臣

  (独)科学技術振興機構 研究開発戦略センター

• 鯉沼 秀臣

  東京工業大学

• 西野 茂弘

  京都工業繊維大学工芸学部

• 更家 淳司

  京都工業繊維大学工芸学部

• 石川 修

  (株)島津製作所基盤技術研究所

• 西原 隆治

  (株)島津製作所基盤技術研究所

• 宮澤 信太郎

  Nttシステムエレクトロニクス研究所:(現)ウシオ総研

• 吉本 譲

  東京工業大学応用セラミックス研究所

• 吉本 護

  東京工業大学

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著作論文

• CAICISS(同軸型直衝突イオン散乱分光法)を用いた単結晶の最表面原子層制御
• GaN薄膜成長用基板結晶LiGaO_2の育成と評価 : バルク成長II
• 28a-WB-6 Asクラスタイオンビーム照射によりAs終端したSi(100)表面のCAICISSによる評価
• 28a-WB-5 Asクラスタイオンビーム照射によるSi(100)基板表面のクリーニング
• CAICISSによる6H-Sic(0001)面の最表面原子層の決定
• 同軸形直衝突イオン散乱分光装置(CAICISS)とその応用(平成8年度第1回関西支部研究例会の講演要旨)
• 直衝突イオン散乱シミュレ-ションプログラムCOSCATの開発--EWS用CAICISSソフトウェアの開発 (小特集 新素材・半導体の分析・試験)

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