篠原 真 | (株)島津製作所 けいはんな研
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概要
関連著者
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篠原 真
島津製作所 表面・半導体機器部
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篠原 真
島津製作所
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篠原 真
(株)島津製作所 けいはんな研
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大谷 文彦
島津製作所基盤技術研究所
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大谷 文彦
(株)島津製作所 基盤技術研究所
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更家 淳司
京都工芸繊維大学工芸学部
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浅利 正敏
(株)島津製作所中央研究所
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石山 修
(株)島津製作所 けいはんな研
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浅利 正敏
構造解析研
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石山 修
島津製作所基盤技術研究所
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更家 淳司
京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学科
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更家 淳司
京都工芸繊維大学 工芸学部 電子情報工学科
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林 茂樹
構造解析研
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石川 修
(株)島津製作所基盤技術研究所
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西原 隆治
(株)島津製作所基盤技術研究所
著作論文
- 28a-WB-6 Asクラスタイオンビーム照射によりAs終端したSi(100)表面のCAICISSによる評価
- 28a-WB-5 Asクラスタイオンビーム照射によるSi(100)基板表面のクリーニング
- 同軸形直衝突イオン散乱分光装置(CAICISS)とその応用(平成8年度第1回関西支部研究例会の講演要旨)