宮田 典幸 | (独)産業技術総合研究所ナノ電子デバイス研究センター
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概要
関連著者
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安田 哲二
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東京大学電気系工学専攻
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東京大学電気系工学専攻
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東京大学電気系工学専攻
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東京大学電気系工学専攻
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竹中 充
東京大学電気系工学専攻
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高木 信一
東京大学電気系工学専攻
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秦 雅彦
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山田 永
住友化学
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宮田 典幸
(独)産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター
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(独)物質・材料研究機構 量子ドット研究センター
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安田 哲二
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著作論文
- III-VチャネルMISFET実現に向けたゲート絶縁膜界面制御技術(ゲートスタック構造の新展開(II),ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- Ni-InGaAs合金を用いた自己整合型メタルソース・ドレインIn_xGa_As MOSFETs(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))