SiC基板上に作製した窒化物半導体デバイスの現状と将来 (特集:次世代半導体デバイスとしてのSiC単結晶を用いたオプトメカトロニクス技術)

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概要

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• 日本オプトメカトロニクス協会の論文

著者

• 牧本 俊樹

  Ntt物性基礎研

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