超高集積Siデバイス (IT基盤研究開発 FED2001--2001年度新機能素子シンポジウム講演録)

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概要

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著者

• 平本 俊郎

  東大

• 平本 俊郎

  東大生研

• 平本 俊郎

  日立製作所デバイス開発センタ

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