微細Cu溝配線技術 (半導体デバイス特集) -- (基盤技術)

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概要

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• 日本電気の論文

著者

• 大音 光市

  Necエレクトロニクス株式会社先端プロセス技術事業部

• 恒成 欣嗣

  日本電気株式会社

• 上野 和良

  Necエレクトロニクス(株)

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