Reflectance Thermometry for Microscale Metal Thin Films
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概要
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A noncontact temperature measurement system applicable to a sub-micrometer scale area based on a thermoreflectance technique has been developed. A high spatial resolution of 0.7 μm is achieved using a 785 nm near-infrared laser and a confocal microscope. A relative change in the reflectivity of the order of $10^{-6}$ is detected without any data accumulation. A temperature resolution of 0.2 °C at around 100 °C is achieved for a molybdenum thin strip sample of 70 nm thickness and 100 μm width. The simultaneous measurements of thermal variations in the relative intensity of the reflected light and in electrical resistance enable us to calibrate the temperature scale of thermoreflectance thermometry.
- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2007-05-15
著者
-
BABA Tetsuya
National Research Laboratory of Metrology
-
Ishii Juntaro
National Inst. Of Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist) Ibaraki Jpn
-
Ishii Juntaro
National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan
-
Shimizu Yukiko
National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan
-
Baba Tetsuya
National Metrology Institute of Japan (AIST), Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所
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