Thermal Conductivity of Diamond Films Synthesized by Microwave Plasma CVD
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1986-10-20
著者
-
馬場 哲也
産業技術研 計測標準研究部門
-
BABA Tetsuya
National Research Laboratory of Metrology
-
ONO Akira
National Research Laboratory of Metrology
-
FUNAMOTO Hiroyuki
Seiko Instruments & Electronics Ltd.
-
NISHIKAWA Akira
Seiko Instruments & Electronics Ltd.
-
Funamoto Hiroyuki
Seiko Instruments Inc.
-
Ono Akira
National Institute For Researches In Inorganic Materials
-
Ono Akira
National Institute For Research In Inorganic Materials
-
Ono A
National Inst. Res. In Inorganic Materials Ibaraki Jpn
-
Nishikawa A
Seiko Instrument & Electronics
-
Baba Tetsuya
National Metrology Institute of Japan (AIST), Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan
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