パルス光加熱サーモリフレクタンス法による薄膜熱物性計測技術 : 実用薄膜の測定と解析
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概要
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- 2009-10-27
著者
-
馬場 哲也
産総研
-
八木 貴志
産総研
-
竹歳 尚之
産総研
-
馬場 哲也
産業技術研 計測標準研究部門
-
竹歳 尚之
(独)産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
Baba Tetsuya
Department Of Pure And Applid Sciences University Of Tokyo:national Research Laboratory Of Metrology
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所計測標準部
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所 計測標準研究部門
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