Development of heat spreading measurement system by spot heating using thermoreflectance probing technique
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概要
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- 2010-11-17
著者
-
馬場 哲也
産総研
-
八木 貴志
産総研
-
竹歳 尚之
産総研
-
馬場 哲也
産業技術研 計測標準研究部門
-
竹歳 尚之
(独)産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
フィロズ シャカワト
産総研
-
松下 泰典
三菱化学
-
納本 淳
三菱化学
-
桐谷 秀紀
三菱化学(株)科学技術研究センター プロセス生産技術部門 プロセスモデリング研究所
-
Baba Tetsuya
Department Of Pure And Applid Sciences University Of Tokyo:national Research Laboratory Of Metrology
-
桐谷 秀紀
三菱化学
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所計測標準部
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
Baba Tetsuya
National Metrology Institute of Japan (AIST), Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所
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