超高速パルス光を用いたサーモリフレクタンス法によるナノ薄膜・界面の熱物性評価 (表面改質による材料の新規性発現とその応用)
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概要
著者
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馬場 哲也
産業技術研 計測標準研究部門
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Baba Tetsuya
Department Of Pure And Applid Sciences University Of Tokyo:national Research Laboratory Of Metrology
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所計測標準部
-
Baba Tetsuya
National Metrology Institute of Japan (AIST), Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan
-
馬場 哲也
産業技術総合研究所
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