対表面照射型比感度12.7倍1670万枚/秒31万画素裏面照射型超高速度CCD撮像素子(半導体材料・デバイス)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
表面照射型に比べ感度12.7倍で最高撮像速度1670万枚/秒の31万画素裏面照射型超高速度CCDを開発した.超高速度CCDは,光電変換部と読出し用垂直転送路の間に,1画素ごとに100個以上のCCDメモリを配置した特殊な構造から構成される.全画素一斉の並列記録動作により信号電荷をCCDメモリに記録することで超高速度撮像が可能になる.超高速度CCDの感度向上及び最高撮像速度向上のため,31万画素裏面照射型超高速度CCD V18を新たに設計し素子を試作した.裏面照射型では,光開口率100%,光利用率向上及び時間開口率100%を実現できるので高感度化が可能であり,表面照射型で遮光膜であった金属層を配線として使用することで配線抵抗低減を実現できるので更なる高速度化が可能である.駆動評価実験の結果,表面照射型に比べ感度12.7倍,垂直解像度410TV本で画素分離されており,最高撮像速度1670万枚/秒を実現したことを確認した.
- 2013-07-01
著者
-
大竹 浩
NHK放送技術研究所
-
林田 哲哉
NHK放送技術研究所
-
新井 俊希
NHK放送技術研究所
-
米内 淳
NHK放送技術研究所
-
米内 淳
NHK放送技術研究所撮像・記録デバイス研究部
-
江藤 剛治
立命館大学
-
クイク バン
テレダインダルサ株式会社
-
新井 俊希
NHK放送技術研究所撮像記録デバイス研究部
-
新井 俊希
NHK放送技術研究所撮像・記録デバイス研究部
関連論文
- 有機光導電膜とZnO TFT回路の積層構造を用いた有機撮像デバイスの原理実証実験
- 固体HARP用CMOSイメージセンサの固定パターン雑音低減(画像入出力および一般)
- 固体HARP用高S/N信号読み出し回路 (超高感度撮像技術特集号)
- パルス出力型広ダイナミックレンジCMOSイメージセンサの検討(高機能イメージセンサ)
- 5-1 可変しきい値を用いたリニア出力型広ダイナミックレンジ撮像デバイス
- 固体HARP用CMOS信号読み出し回路の高S/N化
- 固体HARP用高S/N信号読み出し回路の検討
- 24-6 団体HARP用高S/N信号読み出し回路検討
- 酸化亜鉛TFTを信号読出し回路に用いた有機膜積層型撮像デバイス(高機能イメージセンサとその応用)
- 次世代画像入力(映像情報メディア年報)
- プリプロセス形CCDイメージセンサ : 画素加算形1/3インチ16万画素CCD撮像素子 : 情報入力
- HARP膜積層CMOS撮像素子の積層技術
- HARP膜積層CMOSイメージセンサのプロセス開発 : 平坦化CMPの適用
- 10-3 HARP膜積層CMOSイメージセンサのプロセス開発
- HARP膜積層CMOSイメージセンサの設計とプロセス開発
- HARP膜積層CMOSイメージセンサの評価
- 情報センシング
- 1-1. 情報センシング(1.画像エレクトロニクス,映像情報メディア年報)
- 24-1 次世代撮像デバイス開発に向けた新素材の検討
- 10-6 シリコンナノ結晶材料を用いた光導電膜の検討
- 12-3 HARP膜積層CMOSイメージセンサの試作
- 4)Au/p型α-SiC : H/α-Si : H/n型C-Si構造フォトダイオードにおける光電流・暗電流のn型C-Si不純物濃度依存性(情報センシング研究会)
- Au/p型a-SiC : H/a-Si : H/n型c-Si構造フォトダイオードにおける光電流・暗電流のn型c-Si不純物濃度依存性
- 超高速度CCDのダイナミックレンジ特性改善(特別企画「CCD誕生40年記念講演〜普及拡大期〜」,イメージセンサ一般)
- 動画像圧縮イメージセンサ(固体撮像とその関連技術)
- 超高速度CCDのダイナミックレンジ特性改善 (情報センシング)
- ボトムコンタクト型有機TFTの特性改善とそれを用いたフレキシブル液晶表示パネルの試作(ディスプレイ-IDW/AD'05を中心に-)
- ボトムコンタクト型有機TFT駆動フレキシブル液晶表示パネルの試作
- ボトムコンタクト型有機TFT駆動フレキシブル液晶表示パネルの試作
- ボトムコンタクト型有機TFT駆動フレキシブル液晶表示パネルの試作(ディスプレイに関する技術全般 : LCD(バックライトを含む), PDP, 有機/無機EL, CRT, FED, VFD, LEDなどのディスプレイに関するデバイス, 部品・材料及び応用技術, 発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- 超高速度カメラ用光学トリガ装置の試作
- 超高速度高感度カラーカメラの開発
- 5)プリプロセス型CCD撮像素子(〔テレビジョン方式・回路研究会 テレビジョン電子装置研究会〕合同)
- HARP積層型CMOS撮像素子用Au画素電極の形成(映像入出力および一般)
- HARP積層型CMOS撮像素子用Au画素電極の形成
- HARP膜積層CMOS撮像素子の積層技術
- HARP膜積層CMOSイメージセンサの設計とプロセス開発
- 高感度固体撮像素子の実現に向けたMOSFETの高耐圧化
- 超高感度を目指すHARP積層型固体イメ-ジセンサ-
- 8)アバランシェ増倍膜積層型イメージセンサ用MOSトランジスタの高耐圧化
- 4)プリプロセス型CCDイメージセンサ : 画素加算型1/3インチ16万画素CCD撮像素子(情報入力研究会)
- 1)プリプロセス型CCDカメラ-CCDカメラの高感度化と広ダイナミックレンジ化(ハイビジョン特別研究会情報入力研究会)
- プリプロセス型CCDカメラ : CCDカメラの高感度化と広ダイナミックレンジ化
- 3-2 プリプロセス型CCDカメラ : CCDカメラの高感度化と広ダイナミックレンジ化
- 非晶質シリコン薄膜のX線照射による結晶化
- 1-3 HDTV用固体カメラの雑音評価装置
- 2)固体撮像素子の雑音と検知限特性(情報入力研究会)
- 2-10 固体撮像素子における固体パターン雑音の検知限特性に関する検討
- 固体撮像素子の新構成法(固体撮像技術)
- 固体HARP用CMOS信号読み出し回路の高S/N化
- 固体HARP用高S/N信号読み出し回路の検討
- フレーム間およびフレーム内相関を用いた動画像圧縮イメージセンサ(イメージセンシング技術とその応用)
- フレーム間およびフレーム内相関を用いた画像圧縮イメージセンサ
- 2-1緻密な目(2.イメージセンサ技術)(次世代イメージセンシング技術)
- 高精細、超高精細カメラの動向
- 1.増幅形イメージセンサ( インテリジェント化を目指す電子の目 CMOSイメージセンサ)
- 1)CCD型撮像素子のノイズと今後の課題(〔テレビジョン電子装置研究会(第138回)画像表示研究会(第101回)〕合同)
- CCD型撮像素子のノイズと低雑音信号読出し法
- 固体HARP用CMOSイメージセンサの固定パターン雑音低減
- HARP膜積層MOSイメ-ジセンサ-の研究 (特集 ′98技研公開講演・研究発表会)
- 解説 高精細イメージセンサの現状と展望
- イメージセンサ上での動画像圧縮 : 画素並列構成による新しい設計と試作(固体撮像とその関連技術)
- 30万画素超高速度高感度CCDとそれを用いた単板カラーカメラの開発
- C-12-37 200万枚/秒30万画素超高速度CCDの開発(C-12.集積回路,一般セッション)
- 裏面照射型超高速度CCDの設計(半導体材料・デバイス)
- 200万枚/秒30万画素超高速度CCDの開発(半導体材料・デバイス)
- 12ビットカラム並列2段サイクリックADCを用いた3300万画素120fps CMOSイメージセンサ(固体撮像技術および一般)
- 5-8 超高速度高感度CCDの開口率改善(第5部門 情報センシング1)
- 17-12 30万画素単板式超高速度高感度カラーカメラ(第17部門 情報センシング2)
- 23-1 30万画素超高速度高感度CCD(第23部門 イメージセンサII)
- 8-1 超高速度カメラ用光学トリガ装置の試作(第8部門 画像入出力技術・他)
- 20-4 超高速度カメラ用映像トリガ装置の試作(第20部門 特殊撮像・新機能新原理のイメージセンサ)
- 19-3 15万画素超高速度高感度CCDの設計(第19部門 スマートセンサ・撮像技術)
- 12-8 電界集束型FEA-HARPの基礎検討(第12部門 センシング2)
- 11-13 信号読出し回路に酸化亜鉛TFTを用いた有機膜積層型撮像デバイス(第11部門 情報センシング1)
- 5-5 RGB積層有機光センサの試作と色分解特性(第5部門 情報センシング1)
- ダイナミックレンジ補償機能を付加した200万枚/秒30万画素単板式放送用超高速度カラーカメラ
- 12ビットカラム並列2段サイクリックADCを用いた3300万画素120 fps CMOSイメージセンサ
- 8-5 a-Si TFT用ゲート絶縁膜の検討(第8部門 センシング)
- 2-14 ボトムコンタクト型有機TFT駆動液晶表示パネルのプラスチック基板上への試作(第2部門 情報ディスプレイ)
- 7-1 振り分け蓄積イメージセンサを用いた二つの露光パターンによる撮像の検討(第7部門 センシング&ストレージ)
- バースト5.2テラ画素/秒の撮像速度を有する裏面照射型撮像素子(固体撮像技術および一般〜IEDM, SPIE EI, ISSCC特集〜)
- 19-5 フルスペックSHVイメージセンサ用12ビットカラム並列2段サイクリックADCの低消費電力設計(第19部門[テーマ講演]科学技術のフロンティアを切り拓くイメージセンサ技術)
- 5-7 128x96画素RGB積層有機撮像デバイスの試作(第5部門 情報センシング)
- 14-12 有機撮像デバイスの高解像度化,高効率化に向けた作製プロセスの基礎検討(第14部門情報センシング)
- 22-7 感度13倍改善した31万画素裏面照射型超高速度CCD(第22部門情報センシング(2))
- 2-12 ダイナミックレンジ補償機能を付加した200万枚/秒30万画素単板式放送用超高速度カラーカメラ(第2部門 情報ディスプレイ,マルチメディアストレージ,コンシューマエレクトロニクス,情報センシング)
- 22-6 31万画素裏面照射型超高速度CCDの100万枚/秒時フルダイナミックレンジ動作(第22部門情報センシング(2))
- 14-3 裏面照射型超高速度CCD上へのカラーフィルタおよびマイクロレンズの適用(第14部門情報センシング)
- 3,300万画素120fps CMOSイメージセンサ用カラム並列2段サイクリック型A/D変換回路の低消費電力設計
- 対表面照射型比感度12.7倍1670万枚/秒31万画素裏面照射型超高速度CCD撮像素子(半導体材料・デバイス)
- フレーム周波数120Hzスーパーハイビジョン用イメージセンサの高感度化(インタラクティブシステム・画像入力デバイス・方式,バイオメトリクス,及び一般)
- 11-10 120Hzスーパーハイビジョン用イメージセンサを用いたデジタルCDS回路の検討(第11部門 情報センシング,マルチメディアストレージ,情報ディスプレイ)
- 1-1. 情報センシング(1. 画像エレクトロニクス,映像情報メディア年報〜2008年4月から2010年3月の進展〜)
- 超高速度CCDのダイナミックレンジ特性改善
- 11-7 結晶セレンを用いた電荷注入型光電流増倍素子の検討(第11部門 情報センシング,マルチメディアストレージ,情報ディスプレイ)
- 11-3 撮像デバイスの3 次元集積化に向けた要素技術の開発(第11部門 情報センシング,情報ディスプレイ)
- 11-4 結晶セレンを用いたヘテロ接合型PNフォトダイオードの光電変換特性(第11部門 情報センシング,情報ディスプレイ)
- 15-1 有機撮像デバイスの高解像度化に向けた直接積層構造の開発(第15部門情報センシング1)
- 10-4 0.11μm製造プロセスを用いた120Hzスーパーハイビジョン用イメージセンサの感度特性(第10部門情報センシング1)