バースト5.2テラ画素/秒の撮像速度を有する裏面照射型撮像素子(固体撮像技術および一般〜IEDM, SPIE EI, ISSCC特集〜)
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概要
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バースト5.2テラ画素/秒の撮像速度を有する裏面照射型撮像素子を開発した.裏面照射型は,光開口率100%,光利用率向上,及び時間開口率100%を実現できるので高感度化が可能であり,表面照射型で遮光膜であった金属層を配線として使用することで配線抵抗を低減できるので高速度化が可能である.駆動評価実験の結果,感度252V/lux・sと最高撮像速度1,670万枚/秒が得られた.画素数約31万画素と最高撮像速度1,670万枚/秒の積は5.2テラ画素/秒であり,これは発表時において世界最高である.
- 一般社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2013-03-15
著者
-
大竹 浩
NHK放送技術研究所
-
林田 哲哉
NHK放送技術研究所
-
新井 俊希
NHK放送技術研究所
-
米内 淳
NHK放送技術研究所
-
江藤 剛治
立命館大学総合科学技術研究機構
-
バン クイク
テレダインダルサ株式会社High Tech Campus
-
米内 淳
NHK放送技術研究所撮像・記録デバイス研究部
-
江藤 剛治
立命館大学
-
新井 俊希
NHK放送技術研究所撮像記録デバイス研究部
-
新井 俊希
NHK放送技術研究所撮像・記録デバイス研究部
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