GaSb/InAs Type-II超格子赤外線センサの開発(第9回赤外放射の応用関連学会年会)
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概要
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GaSb/InAs Type-II超格子はHgCdTeに変わる量子型赤外線センサとして注目されている。われわれは静止軌道からの地球観測を目的とした人工衛星への搭載を目指し、カットオフ波長15μmのGaSb/InAs Type-II超格子赤外線センサを開発している。本論文では、研究開発の第一段階として行ったGaSb/InAs超格子のエピタキシャル成長技術開発とpin構造赤外線センサのプロセス技術開発に関し報告する。今回試作した赤外線センサはカットオフ波長が6μmとなるよう超格子構造を設計したもので、1.0×10^<-4>A/cm^2以下の暗電流(逆方向バイアス<0.07V)と10%前後の量子効率が得られることを確認した。
- 2012-01-31
著者
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佐藤 亮太
宇宙航空研究開発機構
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井須 俊郎
徳島大院
-
寳迫 巌
情報通信研究機構
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片山 晴善
JAXA
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木股 雅章
立命館大学
-
木股 雅章
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
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木股 雅章
三菱電機(株)先端技術総合研究所ニューロ応用技術部
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寶迫 巌
(独)情報通信研究機構
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寳迫 巌
NICT
-
北田 貴弘
徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部フロンティア研究センター
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井須 俊郎
徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部フロンティア研究センター
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北田 貴弘
大阪大学大学院基礎工学研究科:(現)徳島大学
-
内藤 聖貴
宇宙航空研究開発機構
-
片山 晴善
宇宙航空研究開発機構
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美藤 邦彦
立命館大学理工学部
-
川崎 聡史
立命館大学理工学部
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室岡 純平
宇宙航空研究開発機構
-
Patrashin Mikhail
情報通信研究機構
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井須 俊郎
徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部
-
北田 貴弘
徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部
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