三角形状ヒータを用いたGaInAs/InP MQW波長スイッチのスイッチング特性(光部品・光デバイスの実装・信頼性,一般)
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概要
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我々はGaInAs/InP MQWコア構造を用いたアレイ導波路型波長スイッチの研究を行っている.アレイ導波路はMOVPE選択成長法を用いてMQW層厚を徐々に変化させ,各導波路において屈折率分布を有する構造となっている.これまでにも,大きな屈折率変化が期待できる熱光学効果による波長スイッチを作製し,スイッチング特性を示した.今回,Ti/Auヒータを三角形状に作製し,消費電力の低減と4波長でのポート間スイッチング動作を達成したので報告する.
- 2011-04-15
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