階段型屈折率分布アレイ導波路を用いた波長選択スイッチのBPM解析と試作(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般,材料デバイスサマーミーティング)
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概要
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我々はGaInAs/InP MQW構造を用いたアレイ導波路型波長選択スイッチの研究を行っている.アレイ導波路は,MOVPE選択成長法において非対称SiO_2マスクパターンを用いることによりMQW層厚を徐々に変化させることで,それぞれのアレイ導波路に異なる屈折率を与えており,その分布は階段状となっている.この構造により,アレイ導波路を伝搬する光はそれぞれ異なる位相で出射して,スラブ導波路にて干渉し波面の揃う方向に回折する.また,回折角は波長に依存するので,波長の異なる光の集光する位置はそれぞれ異なり,異なる波長信号を別々のポートに取り出すことが可能となる.すなわち,これにより直線型アレイ導波路構造の波長分波器が実現できる.今回,BPMを用いたシミュレーションによりスラブ導波路構造を改善し,波長依存性の少ないプラズマ効果による波長選択スイッチを作製し,出射ポートの強度変化を観測できたので報告する.
- 2009-06-12
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