D36 パウダージェットデポジション用二重ノズルの最適化(OS-7 研削・砥粒加工(2))
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概要
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Thick films are needed in micro-electro-mechanical systems as insulation, piezoelectric and ferroelectric materials. To form the thick film, Powder Jet Deposition (PJD) method has been proposed. In the PJD process, particles are sprayed on the substrate under the condition of room temperature and atmospheric pressure. We have developed a new jet mechanism of double-nozzle type, and reported its results previously. In this study, we optimized the shape of the nozzle through investigate the influence of different dimensions and shape of the nozzle on the particle blasting velocity. As a result, it is found that nozzle diameter has a large affect on the particle velocity
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-11-21
著者
-
閻 紀旺
東北大学大学院工学研究科
-
厨川 常元
東北大工
-
厨川 常元
東北大学
-
厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノ加工分野
-
セパシィ サイド
テヘラン大学
-
厨川 常元
東北大工学部
-
水谷 公一
東北大学大学院工学研究科
-
澁谷 寿彦
仙台ニコン
-
水谷 公一
東北大院
-
吉原 信人
東北大工
-
閻 紀旺
東北大工
-
閻 紀旺
東北大学
-
吉原 信人
東北大学
-
吉原 信人
東北大・院
-
厨川 常元
東北大学大学院工学研究科
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