210 2重ノズル型パウダージェットデポジション装置の開発(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
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概要
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Thick films are needed in micro-electro-mechanical systems as insulation, piezoelectric and ferroelectric materials. To form the thick film, Powder Jet Deposition (PJD) method is proposed. In the PJD process, particles are sprayed on the substrate under the condition of ordinary temperature and atmospheric pressure. In this study, a new double nozzle type PJD device is developed. In this report, relationship between PJD conditions and vickers hardness of formed film is investigated. And it is found that gas pressure have large affect on strength of ceramics film compared with jet angle and distance.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-24
著者
-
厨川 常元
東北大・工
-
厨川 常元
東北大学
-
厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノ加工分野
-
水谷 公一
東北大学大学院工学研究科
-
澁谷 寿彦
仙台ニコン
-
澁谷 寿彦
東北大・院
-
水谷 公一
東北大・院
-
吉原 信人
東北大・工
-
閻 紀旺
東北大・工
-
閻 紀旺
東北大学
-
吉原 信人
東北大学
-
吉原 信人
東北大・院
-
厨川 常元
東北大学大学院工学研究科
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