水晶ウエハへの平面ホーニング加工技術
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
庄司 克雄
東北大学
-
野村 幸治
松下電子部品
-
野村 幸治
松下電子部品株式会社
-
西原 和成
松下電子部品
-
多鹿 博文
松下電子部品
-
厨川 常元
東北大・工
-
庄司 克雄
東北大・工
-
大内 智
松下電子部品
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