ZnO/ZnMgO Hetero-MISFET におけるゲート絶縁膜の検討と特性評価
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概要
著者
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井上 正崇
大阪工業大学
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井上 正崇
大阪工業大学ナノ材料マイクロデバイス研究センター
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矢野 満明
大阪工業大学ナノ材料マイクロデバイス研究センター
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小池 一歩
大阪工業大学ナノ材料マイクロデバイス研究センター
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井上 正崇
大阪工業大学 ナノ材料マイクロデバイス研究センター
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佐々 誠彦
大阪工業大学ナノ材料マイクロデバイス研究センター
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