アモルファスシリコンを用いた積層型方向性結合器の試作(超高速伝送・変復調・分散補償技術,超高速光信号処理技術,広帯域光増幅・WDM技術,受光デバイス,高光出力伝送技術,一般,(ECOC報告))
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概要
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アモルファスシリコンは、薄膜堆積を繰り返すことで、立体的な光配線が原理的に作製可能である。本研究では、水素化アモルファスシリコン薄膜の光通信波長帯での光学特性を光吸収と屈折率の面から検討し、i線ステッパを用いた細線導波路微細加工技術を検討し、アモルファスシリコンの細線導波路を上下方向に積層した立体型の方向性結合器の試作を試みた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-10-15
著者
-
金高 健二
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
森 雅彦
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
榊原 陽一
産業技術総合研究所
-
岡野 誠
産業技術総合研究所 光技術研究部門
-
森 雅彦
産業技術総合研究所 光技術研究部門
-
亀井 利浩
産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
糸賀 恵美子
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
庄司 雄哉
産業技術総合研究所ネットワークフォトニクス研究センター
-
金高 健二
産業技術総合研究所
-
榊原 陽一
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
亀井 利浩
産業技術総合研究所マイクロシステム研究センター
-
庄司 雄哉
独立行政法人産業技術総合研究所ネットワークフォトニクス研究センター
-
庄司 雄哉
産業技術総合研究所 ネットワークフォトニクス研究センター
-
榊原 陽一
(独)産業技術総合研究所
-
森 雅彦
産業技術総合研究所
-
岡野 誠
産業技術総合研究所
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