C-3-10 ArF液浸露光を用いた2次元フォトニック結晶スラブ導波路(シリコンフォトニクス(1),C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
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概要
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- 2013-09-03
著者
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堀川 剛
産業技術総合研究所
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関 三好
産業技術総合研究所
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佐野 作
独立行政法人産業技術総合研究所
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岡野 誠
産業技術総合研究所
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鈴木 恵治郎
産業技術総合研究所
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外山 宗博
産業技術総合研究所
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佐野 作
産業技術総合研究所
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