B-3 BAW共振器の周波数特性と電極形状の関係(バルク波デバイス)
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概要
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This report presents a novel method to obtain BAW resonators with different resonant frequencies on the same substrate without additional tuning layer. The resonant frequency of each resonator is adjusted by forming numerous holes of dimensions smaller than the acoustic wavelength on the top electrode. Here we demonstrate that the resonant frequency can be adjusted, by controlling the area of the holes, within a range of 170 MHz on a BAW resonator with the resonant frequency of 1.9 GHz. The results indicate that BAW filters can be tuned by means of photolithographic patterns, and therefore the manufacturing cost is lower than a conventional BAW filter with additional tuning layer.
- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2006-11-15
著者
-
磯部 敦
株式会社 日立製作所 中央研究所
-
松本 久功
日立中研
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浅井 健吾
日立中研
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浅井 健吾
(株)日立製作所中央研究所
-
磯部 敦
(株)日立製作所中央研究所
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礒部 敦
日立中研
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礒部 敦
(株)日立製作所中央研究所
-
礒部 敦
日立製作所中央研究所
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