厚いAlグレーティング構造を有するラブ波/レイリー波型SAW共振器(超音波エレクトロニクス)
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概要
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ニオブ酸リチウム圧電基板上の厚いAlグレーティング構造を伝搬するラブ波型SAWは,極めて容量比γ(=3.0)の小さい共振特性を示すが,レイリー波と複雑に弾性結合する.共振器に適用した場合,レイリー波はスプリアスとなるため,十分に抑圧する必要がある.VCO用広帯域SAW共振器の開発を目的に,このラブ波/レイリー波の伝搬/反射特性を解析した.その結果,(1)ラブ波/レイリー波ともに,極めて広い反射帯域を有する,(2)2種類のレイリー波スプリアスが共振特性に出現する,(3)ラブ波よりレイリー波のストップバンドの方が反射特性に優れることを,シミュレーションと実験により明らかにした.また,Al膜厚を最適化し,レイリー波のストップバンド内をVCO発振周波数とすることにより,広帯域SAW-VCOが実現できることを実験により示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-11-01
著者
-
疋田 光孝
(株)日立製作所中央研究所
-
疋田 光孝
日立製作所
-
磯部 敦
株式会社 日立製作所 中央研究所
-
浅井 健吾
日立中研
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浅井 健吾
(株)日立製作所中央研究所
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磯部 敦
(株)日立製作所中央研究所
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礒部 敦
(株)日立製作所中央研究所
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浅井 健吾
日立製作所中央研究所
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礒部 敦
日立製作所中央研究所
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浅井 健吾
株式会社 日立製作所 中央研究所
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